Construção de alta rigidez com movimento linear do motor e câmeras de alta resolução. Combina a pressão de colocação ideal, alta precisão e alta qualidade usando tecnologia de controle avançada.
Com a suposição de que esta máquina será usada em salas limpas, o robô XY é capaz de salas limpas.
Ao definir um filtro HEPA, você pode obter um ambiente ainda melhor para semicondutores.
Equipado com um grande painel touchscreen de 15 polegadas e interface gráfica. A interface unida controla a operação da máquina e do MWU12i.
Abrange o gerenciamento de dados de mapa de wafer e a conversão de formato.
※Formatos de usuário individuais podem ser suportados separadamente.
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